板級(jí)封裝 半導(dǎo)體先進(jìn)面板級(jí)封裝技術(shù)原理與工藝優(yōu)勢(shì)介紹
板級(jí)封裝(Panel Level Packaging,簡(jiǎn)稱PLP),又稱面板級(jí)封裝,是半導(dǎo)體先進(jìn)封裝領(lǐng)域繼晶圓級(jí)封裝后,迭代升級(jí)的核心新工藝,廣泛應(yīng)用于高端芯片、5G通信、人工智能、車載電子、Mini/Micro LED等高端制造場(chǎng)景。區(qū)別于BGA、傳統(tǒng)晶圓封裝等單顆芯片獨(dú)立封裝模式,板級(jí)封裝依托大尺寸面板基材實(shí)現(xiàn)整板批量封裝作業(yè),憑借高集成度、高性價(jià)比、高性能的核心優(yōu)勢(shì),成為當(dāng)下先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)的主流發(fā)展方向,有效解決芯片微型化、高密度集成的封裝難題,是高端半導(dǎo)體封裝量產(chǎn)的核心技術(shù)之一。
板級(jí)封裝核心工藝原理,是突破傳統(tǒng)單顆封裝的效率與結(jié)構(gòu)局限,以大尺寸面板為承載基材,將多顆功能芯片、無源元器件統(tǒng)一規(guī)整排布、重構(gòu)電路布局。通過模塑封膠固化、RDL重新布線、垂直互連等精密制程,實(shí)現(xiàn)整板一體化封裝成型。該工藝無需依賴傳統(tǒng)陶瓷、有機(jī)載板,依靠面板級(jí)批量加工模式,大幅提升封裝生產(chǎn)效率,縮短芯片信號(hào)傳輸路徑,降低寄生電容與電感干擾,全方位優(yōu)化芯片電氣性能與散熱能力,精準(zhǔn)適配高頻、高速、低功耗的高端芯片應(yīng)用場(chǎng)景。
標(biāo)準(zhǔn)板級(jí)封裝工藝流程體系完善、精度嚴(yán)苛,主要包含基板預(yù)處理、芯片精準(zhǔn)貼裝、模塑固化、板面精密拋光、布線光刻、開孔互連、切割分離、成品性能檢測(cè)八大核心工序。其中,板面超精密平坦化處理是決定封裝良率的關(guān)鍵前置工序,必須采用板級(jí)CMP拋光設(shè)備對(duì)封裝面板進(jìn)行納米級(jí)精拋加工,徹底消除板面凹凸起伏、厚度偏差及微觀劃痕瑕疵。均勻平整的板面可保障后續(xù)布線、芯片貼裝、封膠成型的加工精度,有效規(guī)避線路偏移、芯片貼合虛位、封裝開裂等不良問題,是保障板級(jí)封裝量產(chǎn)品質(zhì)的核心關(guān)鍵。
對(duì)比傳統(tǒng)引線鍵合、BGA封裝、常規(guī)晶圓級(jí)封裝工藝,板級(jí)封裝具備全方位技術(shù)優(yōu)勢(shì)。其一,集成密度大幅提升,可在大尺寸面板上完成多芯片異構(gòu)集成,支持三維堆疊結(jié)構(gòu)與高密度精細(xì)布線,極大提升單位面積芯片封裝數(shù)量,契合消費(fèi)電子輕薄化、微型化的市場(chǎng)趨勢(shì)。其二,量產(chǎn)成本更低,整板一體化批量加工模式,摒棄了傳統(tǒng)單顆逐一封裝的低效工藝,簡(jiǎn)化生產(chǎn)流程、減少物料損耗,規(guī)模化量產(chǎn)優(yōu)勢(shì)突出,可有效降低單顆芯片的封裝生產(chǎn)成本。
在產(chǎn)品性能層面,板級(jí)封裝優(yōu)勢(shì)尤為顯著,短距離互連結(jié)構(gòu)能夠有效減少信號(hào)延遲與傳輸損耗,大幅提升高頻信號(hào)傳輸穩(wěn)定性,完全適配5G/6G通信、AI算力芯片、高端服務(wù)器芯片等高性能產(chǎn)品的嚴(yán)苛需求。同時(shí),板級(jí)封裝整體結(jié)構(gòu)應(yīng)力分布均勻,芯片運(yùn)行熱阻更低,可高效疏導(dǎo)高負(fù)載運(yùn)行產(chǎn)生的熱量,設(shè)備抗彎折、抗沖擊性能大幅提升,從結(jié)構(gòu)層面延長(zhǎng)了終端電子產(chǎn)品的使用壽命,保障設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。
目前,板級(jí)封裝技術(shù)已廣泛落地于消費(fèi)電子、智能穿戴、車載半導(dǎo)體、工業(yè)控制、光電顯示、高性能計(jì)算等多個(gè)高端產(chǎn)業(yè)。隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速升級(jí),終端產(chǎn)品對(duì)芯片小型化、高算力、低功耗的需求持續(xù)攀升,傳統(tǒng)封裝工藝已無法滿足高端制程標(biāo)準(zhǔn)。兼具高效率、高精度、低成本、高穩(wěn)定性的板級(jí)封裝技術(shù),正持續(xù)替代傳統(tǒng)封裝工藝,成為先進(jìn)封裝行業(yè)的核心發(fā)展趨勢(shì),持續(xù)推動(dòng)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體封裝產(chǎn)業(yè)向高密度、智能化、規(guī)模化方向高質(zhì)量迭代發(fā)展。