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減薄機(jī)
單面拋光機(jī)
雙面拋光機(jī)
貼片/刷洗機(jī)
單面拋光機(jī)
TAP-400/450/500/600 series
該系列拋光機(jī)是雙軸高精密單面拋光設(shè)備，設(shè)備可依據(jù)不同晶圓配置相應(yīng)拋光頭，真空吸附固定晶圓，氣囊加壓，拋光壓頭自轉(zhuǎn)并兼具擺動(dòng)功能，適用于各種半導(dǎo)體材料的拋光。
  • 拋光盤規(guī)格

    OD400 mm

  • 拋光頭數(shù)量

    2個(gè)

  • 拋光頭擺動(dòng)

    擺幅擺速可調(diào)

    • Features
    產(chǎn)品特點(diǎn)
    驅(qū)動(dòng)形式
    拋光壓頭自轉(zhuǎn)&擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
    加壓方式
    真空吸附固定晶圓 氣囊加壓
    恒溫控制
    拋光盤溫度控制系統(tǒng)
    配置豐富
    雙軸加工 配置拋光墊修整器
    兼容性好
    可依據(jù)不同種類晶圓配置相應(yīng)拋光壓頭
    壓力校準(zhǔn)
    精密稱重傳感器監(jiān)測下壓壓力
    加工便捷
    可配置半自動(dòng)loading上下片系統(tǒng)
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