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單面拋光機(jī)

TAP-500/600 Dual series

該系列拋光機(jī)是雙拋光盤的高精密單面拋光設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)四軸同時(shí)加工，設(shè)備可依據(jù)不同晶圓配置相應(yīng)拋光頭，真空吸附固定晶圓，氣囊加壓，拋光壓頭自轉(zhuǎn)并兼具擺動(dòng)，適用于各種半導(dǎo)體材料的拋光。

TAP-500 Dual TAP-600 Dual

晶圓尺寸

6英寸

拋光盤規(guī)格

OD520 mm

拋光盤數(shù)量

2個(gè)

拋光頭數(shù)量

4個(gè)

產(chǎn)品咨詢

Features

產(chǎn)品特點(diǎn)

兼容性好

最大可加工8英寸晶圓

加壓方式

真空吸附固定晶圓氣囊加壓

驅(qū)動(dòng)形式

可實(shí)現(xiàn)雙盤4拋光頭同時(shí)加工

清洗功能

浸沒超聲清洗壓頭反吹水自清洗

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